Indicator integrat de grosime și densitate areal CDM
Principii de măsurare
Principiile măsurării densității suprafeței
Metoda de absorbție a razelor X/β
Principiile măsurării grosimii
Corelație și triangulație laser
Caracteristicile de testare tehnică CDM
Scenariul 1: Există o suprafață de 2 mm în gol/lipsă pe suprafața electrodului, iar o margine este mai groasă (linia albastră, așa cum se arată mai jos). Când pata razei are 40 mm, impactul formei datelor originale măsurate (linia portocalie, așa cum se arată mai jos) pare evident mai mic.
Scenariul 2: date de profil ale zonei de subțiere dinamică cu lățimea datelor de 0,1 mm
Caracteristici software
Parametri tehnici
| Nume | Indexuri |
| Viteză de scanare | 0-18 m/min |
| Frecvența de eșantionare | Densitatea suprafeței: 200 kHz; grosimea: 50 kHz |
| Interval de măsurare a densității suprafeței | Densitate superficială: 10~1000 g/m²; grosime: 0~3000 μm; |
| Repetarea măsurătorilor precizie | Densitatea suprafeței: Integrală de 16s: ±2σ: ≤±valoare reală * 0,2‰ sau ±0,06g/m²; ±3σ:≤±valoare reală * 0,25‰ sau +0,08g/m²; Integrala 4s: ±2σ: ≤±valoare reală * 0,4‰ sau ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±valoare reală * 0,6‰ sau ±0,18g/m²;Grosime: Zona de 10 mm: ±3σ: ≤±0,3 μm; Zona de 1 mm: ±3σ: ≤±0,5 μm; Zona de 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm; |
| Corelația R2 | Densitate superficială >99%; grosime >98%; |
| Punct laser | 25*1400μm |
| Clasa de protecție împotriva radiațiilor | Standardul național de siguranță GB 18871-2002 (excepție de la radiații) |
| Durata de viață a substanțelor radioactive sursă | Raze β: 10,7 ani (timp de înjumătățire Kr85); Raze X: > 5 ani |
| Timpul de răspuns al măsurării | Densitate superficială < 1ms; grosime < 0,1ms; |
| Putere totală | <3kW |
Scrie mesajul tău aici și trimite-l nouă
